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多孔吸盘
钛材法兰
键合机工作台
汽车发动机阀门用模具
业绩介绍
 
多孔吸盘(吸附工作台)是指使用于半导体制造阶段,组装在Dicing saw(划片机)或检查装置上的部件。是能够利用工作台表面的多孔质构造与负压,使薄硅片等能够保持平面的产品。Dicing saw(划片机)以20μm左右的宽幅切割硅片,所以对于晶圆吸附面的平面度平行度要求非常高。

陶瓷吸盘的业绩请浏览《业绩介绍》



吉冈精工多孔吸盘吸附面的平面加工精度一般可达到5μm以下。根据吸附面的大小及台座形状的不同会有差异,能够使吸附面平面精度达到3μm以下。多孔吸盘不仅应用于半导体制造设备,而且只要能够活用其平面吸附薄片的特性,可广泛地应用于各种测量设备、检测装置上。

本公司不局限于多孔吸盘的咨询,只要有多孔体吸附需求的产品都可以洽谈。

圆型多孔吸盘
最适合吸附硅片。可对应各种尺寸。
方型多孔吸盘
最适合吸附胶片,纸张。广泛采用于加工及检查领域。
突出型工作台
最适合吸附胶片及纸张。广泛采用于加工及检查领域。
自吸型多孔吸盘
内藏电池,非常便于携带。
面发光多孔吸盘
最适宜检查用。作为背照灯功能使用。
加热组件
最适合热态试验,可固定,加热最大温度为250°C。



形状
● 圆型
● 方型
● 圆柱型
● 特殊型(可制作各种形状)
本体材质
● 不锈钢
● 钛合金
● 铝
● 陶瓷
多孔体材料
● 陶瓷
● 不锈钢
● 碳
● PTFE
尺寸
● 圆型 (φ5㎜~φ500㎜)
● 方型(□5mm~□350mm)
本体表面处理
● 氟树脂加工
● 耐酸铝
● 防锈黑色膜LD处理
● 无电解镀铬
多孔体材料
● 3μm~580μm

 
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